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薄膜的介電性能測(cè)試方法

更新時(shí)間:2022-10-13      點(diǎn)擊次數(shù):2024

薄膜介電常數(shù)以及介電損耗的測(cè)試:

本文中所制備的薄膜在蒸鍍鋁電極后采用航天縱橫ZJD-C型介電常數(shù)儀器,測(cè)試其等效電容以及損耗頻譜,頻率范圍為 100KHz-5MHz,分別取樣點(diǎn)為100 KHz,200 KHz,400 KHz,800 KHz,1MHz,2 MHz,3 MHz,4 MHz,5 MHz;根據(jù)式(2-2)算得相應(yīng)的介電常數(shù),其中薄膜的厚度采用數(shù)顯千分尺測(cè)得,電極為方形,測(cè)量蒸鍍電極的邊長便可求的電極面積,需要注意的是此電極面積是薄膜上下兩個(gè)背電極的重疊面積。 

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薄膜擊穿電壓的測(cè)試 :

本論文中所制備的薄膜均采用中航時(shí)代生產(chǎn)的ZJC-5KV耐壓測(cè)試儀測(cè)試其擊穿電壓;由于薄膜的擊穿電壓隨薄膜質(zhì)量好壞的變化很明顯,即便是在同一條件下制得的薄膜不同區(qū)域的擊穿電場(chǎng)都會(huì)有所不同 ,因此選定薄膜的 5 個(gè)不同區(qū)域,分別測(cè)試并求其平均值近似作為此薄膜的擊穿電壓,通過式將得到的擊穿電壓除以相應(yīng)區(qū)域薄膜的厚度即可得到對(duì)應(yīng)薄膜的擊穿電場(chǎng);耐壓測(cè)試儀最高電壓可達(dá)到 8000V,升壓速率設(shè)定為 50V/s。 

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本文主要介紹了通過溶液流延法制備純 PVDF 薄膜以及 PVDF/BaTiO3復(fù)合薄膜的具體工藝流程及相關(guān)實(shí)驗(yàn)參數(shù),最后簡要介紹了本文中所要用到的薄膜介電性能測(cè)試方法及其具體參數(shù)設(shè)置。


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